Mikro­spiegel für Mini­beamer in Smartphones entstehen staubfrei im Reinraum

Der neue Reinraum am Fraunhofer-Institut
Bild: dpa Das Fraunhofer-Institut für Silizium­technologie (ISIT) in Itzehoe wird leistungs­fähiger. In Anwesenheit von Wirtschafts­minister Reinhard Meyer (SPD) wurde ein neuer "Reinraum" für das Arbeiten in extrem sauberer Luft offiziell eingeweiht. Er wird unter anderem für die Produktion von Mikro- und Nano­system­technik benötigt, wo selbst kleinste Staub­teilchen stören, die nur den Bruchteil eines Mikrometers messen. Hier werden 150 Wissenschaftler des Instituts gemeinsam mit Partnern aus der Industrie Bauelemente und Fertigungs­prozesse der Leistungs­elektronik sowie miniaturi­sierte Bau­elemente für Kunden entwickeln.

Eingesetzt werden die Mikro- und Nanosysteme mit feinen beweglichen Strukturen in den Bereichen Medizin, Umwelt- und Verkehrstechnik, Kommunikations­technik, Automobil- und Maschinenbau, wie Instituts­leiter Prof. Wolfgang Benecke sagte. "Es freut mich, dass sich eine Technologie, die vor 30 Jahren noch für abwegig gehalten wurde, sich zu einer Schlüssel­technologie entwickelt hat", sagte er.

Mikrosysteme in Massenprodukten

Der neue Reinraum am Fraunhofer-Institut
Bild: dpa Im Gegensatz zur Mikromechanik, wo quasi Zahnrad für Zahnrad gefeilt und zusammen­gesetzt wird, werden die mechanischen Komponenten im Itzehoer Fraunhofer-Institut mit Technologien der Silizium-Halb­leiter­technik-Herstellung gemacht, erklärte Ralf Dudde. Das heißt, die klassischen Methoden der Feinmechanik werden ersetzt durch Mikro-Strukturierungs­methoden, wie sie ursprünglich für die Produktion elektronischer Speicher­bau­steine und Prozessoren entwickelt wurden, erklärte Dudde. "Man tastet sich langsam in die Welt der Mechanik, in neue Funktionalitäten hinein, indem man in Silizium oder in Metalle Strukturen hineinätzt oder Mikrometer-feine Biegebalken bastelt."

Heraus kommen dann Mikrosysteme, die unsichtbar in technischen Massen­produkten verbaut sind und unseren Alltag bestimmen: Zum Beispiel "Glaswafer" für LED-Beleuchtung in Auto­schein­werfern, bewegliche Mikro­spiegel für Mini­beamer in Smartphones, oder in der Medizin "intelligente" Implantate wie Herz­schritt­macher, Insulin­pumpe oder Hörgerät. Oder es sind mikro­skopisch kleine Dreh­raten­sensoren, die bei einem Cabrio den Über­roll­bügel ausklappen, wenn sich das Fahrzeug bei einem Unfall überschlägt, bei einem Gelände­wagen die Fahrdynamik regeln und bei Navigations­systemen die Genauigkeit der GPS-Daten verbessern. Bei Digital­kameras verhindern sie verwackelte Bilder, und im Weltraum können sie helfen, die Satelliten auf ihren Flugbahnen zu stabilisieren.

Das Itzehoer Institut ist nach eigenen Angaben einer der weltweit führenden und modernsten Forschungs- und Entwicklungs-Dienst­leister im Bereich der Mikro­elektronik und Mikro­system­technik. Wissen­schaftler können hier gemeinsam mit Kunden neue Produkte und System­lösungen entwickeln. In den rund zwanzig Jahren seines Bestehens in Itzehoe hat das Institut einen stabilen Kundenstamm von weltweit mehr als 350 Unternehmen aufgebaut, davon etwa 50 aus Schleswig-Holstein.

Die Kosten für den 1 000 Quadratmeter großen Reinraum sowie 500 Quadratmeter Laborfläche und Büros für 44 Mitarbeiter betrugen rund 36,6 Millionen Euro. "Mit dem Neubau ist eine der umfangreichsten Forschungs­investitionen des Landes in den letzten Jahren erfolgreich umgesetzt worden", sagte Wirtschafts­minister Meyer.

Aber auch kleine Unternehmen bzw. Startups forschen derzeit intensiv an neuen Technologien. So zum Beispiel auch in der Technologiefabrik in Karlsruhe.